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  • 镀膜过程监控

    发布时间:2019-08-02 08:21:15

    在镀膜过程中需要对一些重要参数进行监控如膜层厚度、成分、表面光洁度、光透射率、反射系数、偏振特性等,都可以利用光谱学和双光束干涉的方法进行乐鱼体育官方下载。光纤的使用为监控过程提供了灵活的工具,可以使光方便地进入或导出远方的真空超净室,而且可以同时为膜层分析提供多个几何量的乐鱼体育官方下载选择。膜层的照明和发光的探测可以在相对于膜层的不同光纤位置进行,可以乐鱼体育官方下载镜面反射、漫反射、传输、偏振、干涉、荧光和拉曼散射等。可以利用多根光纤同时监测多个参数,或者在不同的空间位置或掩模条件下同时乐鱼体育官方下载

    用几个适宜结构的光纤探头,就可以在线监测生产的全过程。在一些场合中,可以通过监测离子源(如等离子源)的光谱辐射来确定镀膜过程中的条件效率

    对于大多数此类监测系统来说都需要专门的实验布局,我们可以为您提供适合您应用的实验布局,这里仅举一个应用系统的例子

          在这里使用一个反射型光纤探头来在线监测镀膜生产过程。光纤通过过真空装置进入真空室,然后传到反射探头上。反射光经过另一个过真空装置,进入光谱仪的一个乐鱼体育官方下载通道。反射型探头可以用SMA接头拆下。还可以再增加一个光谱仪通道,用来进行参考乐鱼体育官方下载或补偿光源本身的波动对乐鱼体育官方下载结果的影响。


    光谱仪

    AvaSpec-ULS2048(200-1100nm)

    软件

    AvaSoft-Full软件和XLS或PROC应用软件

    光源

    AvaLight-DH-S-BAL均衡光谱型氘-卤素灯

    光纤探头  

    1根FCR-7UV200-2-ME反射型光纤探头,1根FC-UV600-2光纤和1根FC-UV200-        2光纤

    过真空装置

    FC-VFT-UV200和FC-VFT-UV600